一、設(shè)備用途

該設(shè)備為桌面半自動(dòng)研發(fā)用顯影設(shè)備，主要應(yīng)用于 5 寸以下晶片顯影，采用手工放片，

自動(dòng)噴液運(yùn)行 ，顯影 、堅(jiān)膜工藝 。工藝過程控制采用 PLC ，人機(jī)界面采用觸摸屏 ，具

有可靠性高 ，操作方便、直觀等特點(diǎn)。 

二、技術(shù)特點(diǎn)

2.1 控制系統(tǒng)由 PLC 及 7 寸觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性高，操作簡(jiǎn)單，易于維護(hù)；

2.2 傳動(dòng)方式通過電機(jī)傳動(dòng)；

2.3 主軸使用低壓伺服電機(jī) ，帶數(shù)字顯示 ，精確控制轉(zhuǎn)速；

2.4 手動(dòng)上下片 ， 1 個(gè)自動(dòng)顯影擺臂（1 路顯影液 ， 1 路純水 ，1 路氮?dú)猓?/span>

2.5 噴嘴到基片的高度可在 10-50mm 范圍內(nèi)手動(dòng)可調(diào)；

2.6 基片尺寸規(guī)格：＜5 英寸晶圓 ，＜80*80mm 碎片；

2.7 外殼 ：不銹鋼 ，耐腐蝕；

2.8 顯影腔 ：HDPE ，光滑 、耐腐蝕 、易清洗；

2.9 管路 ：管路接口位于機(jī)臺(tái)下/后部 ，管道采用 PU 與 PFA 材質(zhì)配套使用；

2.10 采用恒壓供液方式供液 ，穩(wěn)定 ，安全 ，可靠。

三、工藝流程

建議工藝(可根據(jù)客戶需求自行更改設(shè)定)：

人工放料——>純水清洗——>氮?dú)馇鍧崱?gt;顯影——>甩干——>人工取料。

四、設(shè)備規(guī)格

4.1 設(shè)備參考尺寸 ：700mm(L）*450(W）*350mm（H）（具體以實(shí)物為準(zhǔn)）

4.2 噴嘴類型：

采用特殊噴嘴 ，加壓供液。

4.3 其他規(guī)格參數(shù)：

五、動(dòng)力需求

5.1 電源總進(jìn)線：220VAC 單相

5.2 設(shè)備功率規(guī)格： 0.6KW

六、設(shè)備總體結(jié)構(gòu)

整機(jī)主要由機(jī)架 、 動(dòng)噴液機(jī)構(gòu)、耐酸堿腔體、排風(fēng)系統(tǒng)、電控單元、溫控系統(tǒng)等組

成。

6.1 設(shè)備整機(jī)由顯影機(jī)主機(jī) 、控制箱、 自動(dòng)擺臂、儲(chǔ)液罐組成；

6.2 設(shè)備帶有7 寸全彩觸摸屏，所有工藝參數(shù)調(diào)整設(shè)置均可在此操作面板上進(jìn)行；

6.3 控制界面可設(shè)置：工藝參數(shù)（顯影，定影時(shí)間設(shè)置，主軸轉(zhuǎn)速設(shè)置等）、工藝流程

編寫；

6.4 設(shè)備帶有1 個(gè)自動(dòng)擺臂；

6.5 設(shè)備底部裝有調(diào)平腳座 ，可調(diào)節(jié)設(shè)備水平；

6.6 具有漏電斷路保護(hù)裝置；

6.7 電氣控制單元與氣動(dòng)單元后置獨(dú)立安裝，提高了設(shè)備的使用安全性與維護(hù)性；

6.8 設(shè)備的各種管件、接頭均采用專業(yè)廠家產(chǎn)品，保障連接、使用的可靠性；

6.9 設(shè)備控制系統(tǒng)采用 PLC 控制；

6.10 具備加密功能，以防止工藝參數(shù)被隨意更改；

6.11 具有漏電斷路保護(hù)裝置。 

七、技術(shù)資料

本設(shè)備檢驗(yàn)合格后出廠提供以下技術(shù)文件：

7.1 操作手冊(cè)

7.2 維修手冊(cè)

7.3 出廠檢驗(yàn)合格證

八、技術(shù)培訓(xùn)

乙方工程師在調(diào)試完成后，對(duì)用戶操作人員及維修人員 、工藝人員 、管理人員進(jìn)行技

術(shù)培訓(xùn)(4H)并達(dá)到預(yù)期的效果 。技術(shù)培訓(xùn)內(nèi)容如下：

8.1 設(shè)備操作培訓(xùn)：培訓(xùn)設(shè)備的具體操作方法及步驟；

8.2 維修課程：介紹設(shè)備機(jī)械及電氣結(jié)構(gòu)、維修保養(yǎng)知識(shí)、故障診斷及排除方法；

8.3 使用技術(shù)培訓(xùn)：對(duì)用戶在工藝和維修等重要技術(shù)參數(shù)方面及相關(guān)注意事項(xiàng)進(jìn)行技

能培訓(xùn)。 

九、安裝、調(diào)試及終驗(yàn)收

1.在設(shè)備運(yùn)到甲方后，甲方負(fù)責(zé)設(shè)備搬運(yùn)、拆箱工作，并且由甲方按照設(shè)備的動(dòng)力要求

進(jìn)行安裝就位及設(shè)備電、氣的連接工作 ，安裝完成后書面通知乙方對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)試，

乙方在接到通知后到達(dá)甲方現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行設(shè)備調(diào)試 ，并對(duì)相關(guān)人員進(jìn)行培訓(xùn)，待調(diào)機(jī)及

培訓(xùn)完成后，對(duì)設(shè)備進(jìn)行交付使用驗(yàn)收；

2.設(shè)備調(diào)試完成 ，各功能指標(biāo)滿足本技術(shù)協(xié)議的要求，甲方超過十五天仍未進(jìn)行設(shè)

備驗(yàn)收的 ，將視為甲方驗(yàn)收合格。 

十、售后服務(wù)及設(shè)備質(zhì)保

1. 設(shè)備驗(yàn)收合格后 1 年內(nèi)保修（終身維護(hù)），1 年后只收取零部件成本費(fèi)及人工費(fèi)。

保修期間我公司會(huì)派技術(shù)人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期電話回訪，確保設(shè)備正常運(yùn)行。

2. 軟硬件維修服務(wù)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：軟件可終身免費(fèi)升級(jí) ，硬件在保質(zhì)期內(nèi)免費(fèi)維修更

換 ，保質(zhì)期外更換維修只收取成本費(fèi)。